Le laboratoire est équipé d’un profilomètre-rugosimètre optique haute résolution ZYGO NewView7300.
Cet instrument permet d’obtenir une image topographique de la surface d’un échantillon, son principe de fonctionnement est basé sur l’interférométrie en lumière blanche à balayage vertical. La résolution verticale est comprise entre 0,1 et 25 nm, en fonction de l’échantillonnage, la résolution latérale varie de 0,5 à 10 µm suivant l’objectif employé.
Les mesures sont non destructives, rapides et - sauf applications spéciales - ne nécessitent pas de préparation préalable. Il est possible de cartographier des surfaces lisses, rugueuses, présentant de la topographie inclinée ou étagée.
Contact
Gilles Morvan, Ingénieur d'études CNRS